微惯性器件的性能首先取决于其挠性支承结构的力学性能。高精度微惯性器件的需求与微加工的普及，使得微惯性器件的挠性支承结构趋向复杂，但主要体现为组合复杂性，提出了矩阵解析建模方法，论述了该方法的基本概念、刚度矩阵与弹性矩阵的坐标系变换和集总计算等问题，并结合实例简要说明了应用矩阵解析建模方法的基本步骤。