通过对一组运行了4年的不锈钢过热器管样内表面机加工区和非机加工区氧化皮的结构和形貌特征进行对比分析，探讨内表面冷作硬化处理对于超超临界机组锅炉用不锈钢管蒸汽氧化性能的影响。结果表明，内表面冷作硬化处理对于改善细晶TP347HFG和Super304奥氏体不锈钢在相对较低温度蒸汽中的抗氧化性能非常有效，但在600℃左右高温蒸汽中Super304管样内表面冷作硬化效应消失，除冷作硬化试样氧化皮的总体厚度略薄外，氧化皮的结构形貌特征与未冷作硬化处理的管样没有多大区别。另外，含Cr量大于22％的SAVE25具有非常优秀的抗蒸汽氧化性能，其机加工区域和未机加工区域的蒸汽氧化行为没有任何区别。