本文主要介绍一种微机械测量子系统,它与控制、测试和带有闭合数字控制回路结构的测量仪器相关.它尤其适用于光滑位移量的测量.例如象由压力和温度引起的物体变形量,或者在监测物体气密性时,探测由物体的几何尺寸变化引起的电荷量.它也可用来监测集成模块的防水性.如果再给子系统补充一些额外的触觉传感设备,它就可应用于机器人系统中.