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利用线阵CCD测量照明光场均匀度

作者: 孙玉杰 汪岳峰 来源:中国测试技术 日期: 2022-07-17 人气:2
利用线阵CCD测量照明光场均匀度
本文提出了一种应用线阵CCD器件测量照明光场均匀度的新方法,并给出了测量系统的结构框图.
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