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工作平晶平面度测量不确定度评定

作者： 刘丽娟 来源：中国测试技术 日期： 2022-07-18 人气：2
工作平晶平面度测量不确定度评定
本文对JJG28-2000<平晶>中以等厚干涉法检定工作平晶(D30mm～100mm)平面度的方法进行了分析、评定,得出了平面度的测量结果不确定度.
关键词： 工作平晶 平面度 等厚干涉法 不确定度 行业标准 评定 点击阅读
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