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> 微型电子机械系统(MEMS)
一种谐振式微加速度计的设计
作者:
郑晓虎
来源:
压电与声光
日期: 2023-04-17
人气:2
提出一种基于谐振原理、电容检测的微型加速度计。通过外加加速度使质量块经杠杆将力放大施加到谐振器上,改变谐振梁上的轴向应力,从而改变谐振梁的振动频率。研究表明这种加速度计的测量范围达66g。同时采用有限元法进行了仿真模拟,结果显示传感器灵敏度约18Hz/g,工作模态固有频率为625.981kH。
关键词:
微型电子机械系统(MEMS)
谐振
加速度计
仿真模拟
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