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一种谐振式微加速度计的设计

作者: 郑晓虎 来源:压电与声光 日期: 2023-04-17 人气:2
一种谐振式微加速度计的设计
提出一种基于谐振原理、电容检测的微型加速度计。通过外加加速度使质量块经杠杆将力放大施加到谐振器上,改变谐振梁上的轴向应力,从而改变谐振梁的振动频率。研究表明这种加速度计的测量范围达66g。同时采用有限元法进行了仿真模拟,结果显示传感器灵敏度约18Hz/g,工作模态固有频率为625.981kH。
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