结构稳定性是ICF驱动器一个重要的设计指标。根据激光原型装置（TIL）多程放大、框架式设计的特点，结合矩阵光学对单个光学元件对光束漂移的影响进行了分析，综合不同光学元件对光束漂移的影响，建立了光学元件稳定性指标分配的数学模型，根据原型装置特点对数学模型中各参数之间的关系进行了确定，求解得到了装置内各个光学元件的稳定性指标，以此作为光机系统结构稳定性的设计要求。经过对原型装置光路稳定性指标的测试，光路稳定性漂移x方向和y方向均方根值为2．78μm，峰谷偏差值x方向和y方向分别为14．4μm和15．60μm。结果表明原型装置结构稳定性漂移满足设计要求，稳定性指标划分方法合理。