从理论上证明了可变入射距离的平焦场软Ｘ射线谱仪设计的可行性。对于标称栅距σ０＝（１／１２００）ｍｍ和象差修正项Ｍ２０＝－２０／Ｒ，Ｒ分别为５６４９和６０００ｍｍ的光栅，对不同的入射距离，计算出与平焦场相对应的入射角和成象距离，使一定波长范围内的光谱可以被聚焦在一个平面上，从而提高了变栅距光栅使用的灵活性。同时可通过取消谱仪中入射狭缝，使谱仪的光通量提高约１个量级。

为了缩短掠入射XUV平场谱仪尺寸以方便其使用．利用建立的光路追踪程序优化研究了当入射距离缩短为155mm，聚焦面仍满足平面的条件下凹面光栅的各参量对谱线成像的影响。计算表明，对于曲率半径为5649mm、光栅标称间距为1／1200mm的凹面光栅，当入射距离为155mm，入射角为87．5°，聚焦参量为-21／R，彗差参量为4．655×10^2／R^2时，可以在12～40nm波段内得到优化的成像效果。