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光学非球曲面器件的超精密磨削加工技术研究

作者: 陈明君 张飞虎 董申 来源:光学技术 日期: 2022-09-13 人气:6
光学非球曲面器件的超精密磨削加工技术研究
为磨削加工出高精度、高质量的光学非球曲面器件.详尽分析了砂轮的安装及半径等误差对零件加工精度的影响.设计研制出了一套非球曲面磨削系统,并用它进行了实验研究.实验结果表明要获得高精度的非球曲面器件,只有当金刚石砂轮的平均磨粒尺寸低于10 μm,并在采用较高的砂轮线速度和较小的进给量的情况下,才能实现光学非球曲面的超精密磨削加工,经过各种磨削参数的优化选择,其非球曲面最终的零件轮廓精度为0.4 μm,表面粗糙度Ra优于0.01 μm.
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