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微硅型扭摆式静电力平衡加速度计的设计分析

作者: 吴建辉 来源:仪表技术与传感器 日期: 2022-09-13 人气:5
微硅型扭摆式静电力平衡加速度计的设计分析
文中详细提出了微硅扭摆式静电力平衡加速度计设计的基本理论,根据加速度计的性能指标,应用该理论可以确定加速度计的结构参数;测量电路和的回顾增益,再平衡电压等电气参数。
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