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Φ520mmF/1.6椭球面反射镜加工

作者: 李新南 袁吕军 刘星涛 夏自立 来源:光学技术 日期: 2022-09-12 人气:3
Φ520mmF/1.6椭球面反射镜加工
介绍了一块Ф520mm。大相对孔径(F/1.6)轻量化椭球面反射镜的加工与检测方法。镜面的有效口径为Ф520mm,顶点曲率半径为1600mm,非球面系数k=-0.9663,面形精度要求优于0.025λ(RMS)。镜子背面有54个大小深浅不一的不通孔,用于减轻镜子的重量。采用WYKO干涉仪检测得到镜面面形误差达RMS0.02λ,λ=632.8nm。
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