单点式共焦显微镜由于扫描速度低，光能利用率不高逐渐被多点并行的扫描方式代替。现有的并行扫描方式同样存在一些缺点，限制了测量精度的进一步提高。本文研究了基于数字微镜器件（digital micromirror device，DMD）的多路并行共焦显微镜。利用计算机程序控制DMD芯片上微镜的偏转状态，从而对光源进行调制，形成多路光束，其作用相当于可以控制的虚拟针孔阵列。设计了基于DMD的共焦检测光路，采用分光片的方法解决了由于分光棱镜内表面反射造成的重像干扰问题。对所搭建的光路进行了深度响应曲线测试实验，并且建立了基于DMD的共焦显微镜样机。样机的测量实验结果表明：基于DMD的共焦显微镜不仅具有较高的分辨率，并且具有扫描速度快、测量范围大的优点。

研究了基于数字微镜器件（DMD）的多路并行共焦显微镜。利用DMD产生特定的图案对光源进行调制,形成多路并行共焦检测工作模式,其作用相当于虚拟针孔阵列,可以代替现有的并行扫描方式。采用DMD作为共焦系统的并行横向扫描方式,在不损失分辨率的前提下,大大提高了测量速度。系统中虚拟针孔的大小和周期等关键参数具有程序可控制性,能够根据不同的要求对样品进行测量。解决了分光棱镜内表面反射作用对共焦成像造成的干扰问题。设计了DMD横向扫描策略。对样机进行了测试实验,取得了系统的深度响应曲线,并且成功还原了被测物表面的微结构。