讨论了超级干分表的工作原理和优点，描述了超级千分表关键参数及其检测方法。其中，由于百万分表（纳米表，纳米测长仪）的技术难度最大，所以文中侧重讨论它的检测。大量实测数据表明：百万分表的测量重复性（标准偏差）在0．6～1．2nm范围内；在未作任何误差修正的条件下，示值误差=±（30～60）nm;以光波波长作为基准进行误差修正后，示值误差可达±（10～20）nm，细分误差≤±5nm。