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负压吸附式环形气垫导轨的计算方法

作者: 张星祥 任建岳 来源:光学精密工程 日期: 2022-12-14 人气:1
负压吸附式环形气垫导轨的计算方法
根据负压吸附导轨的工作原理,利用流体力学的性质,系统地建立了导轨的承载能力和气膜厚度的数学模型,得出4个结构参数、气源气压与承载能力和气膜厚度的关系.最后通过实验证明了该导轨气膜厚度在1~3 μm时,刚度稳定,最大变化量约为10%,且计算刚度与试验刚度的误差小于12%,能够适用于高精密器械的移动元件或承载元件.
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