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> 环形气垫导轨
负压吸附式环形气垫导轨的计算方法
作者:
张星祥
任建岳
来源:
光学精密工程
日期: 2022-12-14
人气:1
根据负压吸附导轨的工作原理,利用流体力学的性质,系统地建立了导轨的承载能力和气膜厚度的数学模型,得出4个结构参数、气源气压与承载能力和气膜厚度的关系.最后通过实验证明了该导轨气膜厚度在1~3 μm时,刚度稳定,最大变化量约为10%,且计算刚度与试验刚度的误差小于12%,能够适用于高精密器械的移动元件或承载元件.
关键词:
负压吸附
环形气垫导轨
承载能力
刚度
计算方法
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