在电容式微加速度计系统中，零偏是一个普遍存在的问题。针对这个问题设计了一种采用二进制权重的微小电容阵列，引入了基于电荷的电容测量方法并对其进行了仿真验证，验证表明这种电容测量方法具有约0．01fF的测量精度。采用该种电容测量方法对微小电容阵列进行仿真，在线宽为0．18um的一层多晶硅六层金属的CMOS工艺下，取得了1.23％的相对精度，表明这种方法是可行性。