软Ｘ射线多层膜的进展使正入射高分辨率成像系统从红外，可见和紫外扩展到软Ｘ射线波段，由于软Ｘ射线多层膜的反射率还不能像其它波段反射镜反射率那样高，因此由两块同心球面反射镜组成的Ｓｈｗａｒｚｓｃｈｉｌｄ物镜在使Ｘ射线波段得到了广泛的应用，本文从多层膜带宽匹配条件Ｓｃｈｗａｒｚｓｃｈｉｌｄ显微物镜的几何尺寸和多层膜镀制设备的性能出发，研究了实现Ｓｃｈｗａｒｚｓｃｈｉｌｄ显微物镜带宽匹配条件的镀膜过程，为