介绍了一种具有较简单结构、方便实用的经济型双频激光干涉多坐标实时精密测量系统的基本原理及构成．

文章介绍了多坐标结晶器内腔尺寸测量装置的机械伺服系统的设计,主要包括导轨、螺旋传动及带传动.而机械伺服系统则在数控软件的控制下,完成在空间x、y、z 3个方向上的快速、准确地移动及绕z轴的转动,以达到高效、精确地对不同形状的工件内腔及外廓尺寸的测量.