世界各国十分重视超光滑表面光学元件的加工与检测技术的研究.本文阐述了超光滑表面在诸多科技领域的应用,并结合超环面光学元件检测的实例,研究了同步辐射超光滑光学元件的检测技术,其中包括大曲率半径、面形误差和表面粗糙度的检测.