分析了弧矢聚焦晶体弯曲原理及柔性铰链运动方程,阐述了弧矢聚焦晶体柔性铰链压弯机构的原理,同时提出了抑制子午形变的有效方法.该压弯机构在5-20keV能量扫描范围内,弧矢聚焦比为31,聚焦曲率相对误差<0.75%,聚焦光斑弥散为25%,在10keV时聚焦面形误差<2".