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压电多层膜悬臂梁受力的有限元仿真

作者: 李苏洋 夏鸿建 张晓伟 陈显锋 来源:机械设计与制造 日期: 2024-08-25 人气:131
采用有限元软件ABAQUS6.14对压电多层膜悬臂梁进行了仿真模拟,在自由端受集中载荷下,预测薄膜结构对悬臂梁曲率半径和自由端及中心固定端等效应力的影响。结果表明自由端受到的载荷越大,则各层所对应的自由端和中心固定端的等效应力越大,而中性层曲率半径则越小。薄膜厚度越厚,自由端和固定端各层的等效应力越小,而各层的中性层曲率半径越大。同时将数值解与解析解进行比较,以验证有限元模型的正确性。仿真结果与解析解吻合良好,为后续MEMS微悬臂梁器件的结构优化和加工工艺提供可靠依据。

多孔PZT的制备与性能研究

作者: 黄学辉 肖文文 来源:压电与声光 日期: 2022-05-31 人气:1
用传统造孔剂燃烧工艺(BURPS)法,以碳化淀粉造粒后为造孔剂,制备了不同孔率的锆钛酸铅(PZT)陶瓷,研究了孔隙率随造孔剂量变化规律,并对其介电性能和压电性能与孔隙率的关系进行了讨论。随着孔隙率的增加,材料介电常数降低和压电系数(d33)均减小,而材料的静水压压电系数、静水压电压常数(gh)、静水品质因数均增加。结合其微观结构初步讨论了产生影响的原因,并讨论了多孔PZT做水下超声应用的可行性。
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