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白光扫描干涉测量算法

作者: 李其德 卢荣胜 来源:中国仪器仪表 日期: 2023-11-23 人气:11
白光扫描干涉测量算法
白光扫描干涉测量是光学测量中一种非常重要的方法。在干涉仪的结构中,光源的光谱宽度及扫描步长一定时,选择合适的算法对干涉信号进行处理能够达到更高的测量精度。对重心法、移相法、包络曲线拟合法、空间频域算法分别加以介绍和比较,为白光干涉信号的算法提供详尽的参考。
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