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> 光栅测量系统
光栅位置检测技术现状及发展
作者:
孟超
费业泰
来源:
中国仪器仪表
日期: 2023-03-14
人气:2
利用光栅作为传感元件进行位置测量的原理是:用一对计量光栅作位移传感器,通过对莫尔条纹的计数测出移动光栅的位移量。随着光栅刻制技术的发展和莫尔条纹细分技术的不断完善,工业计量领域中的光栅技术得到了飞速发展。
关键词:
技术现状
位置检测技术
光栅传感器
计量光栅
圆光栅
光栅尺
光栅测量系统
误差修正技术
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