讨论了电子探针中X光分光谱仪的波长分辨力。除X光谱线的自然宽度外，弯晶光谱仪的分辨力是由一些实际因素决定的：弯晶光学系统的固有偏差、衍射晶体的镶嵌结构、晶体的有效厚度及X光源的有限体积。在不同条件下，上述因素中的一个或几个对限制波长分辨起主要作用。