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> 精密机械加工
源于IC、超越IC微机电技术迈向标准化
作者:
卞莲
来源:
电子技术(上海)
日期: 2023-03-20
人气:6
被公认为新世纪最有潜力的制造技术之一的MEMS,结合了硅加工制程、X光深刻精密电铸模造成形和精密机械加工等多种微加工技术,可生产出微传感器、微致动器、微系统等组件装置。
关键词:
微机电技术
标准化
IC
精密机械加工
微加工技术
MEMS
制造技术
微传感器
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