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正交梁式隧道效应微机械陀螺仪的设计与仿真

作者: 罗源源 刘俊 李锦明 来源:传感技术学报 日期: 2022-09-05 人气:11
正交梁式隧道效应微机械陀螺仪的设计与仿真
针对传统的角速率陀螺仪存在的缺点与不足,根据电子隧道效应的特点,设计了一种新型基于隧道效应的微机械陀螺仪,运用计算机辅助软件ANSYS对其进行了建模和仿真.把电子隧道原理应用到微机械振动陀螺中对振动位移进行检测,结构简单,功耗低,抗干扰能力强,可靠性好,线性度高,具有很高的灵敏度,尤其在提高微机械振动陀螺的测量精度和灵敏度的方面显示其优势.
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