简单介绍了三维测量技术的发展现状、测量方法及各自的优缺点,分析了实际测量中位置度误差产生的原因。借助FARO关节臂三维测量设备,采用接触式和非接触式两种方法测量易变形工件局部细小特征的位置度,并对结果进行比较分析,得出两种方法各自的优缺点,总结出该类零件特征的测量方法。