利用CoventorWare软件的微机械陀螺仪谐振器系统模型,对其主要参数进行了优化设计,采用交流小信号分析的方法,使驱动模态和检测模态的频率相匹配,提高了陀螺仪的性能,降低了交叉耦合的误差。

根据微机械陀螺仪的灵敏度公式要使它具有高灵敏度,它的驱动模态固有频率和检测模态的固有频率应尽量接近.本研究通过CoventorWare软件中的系统模块进行建模、仿真、分析,改变陀螺仪的结构参数,使它的固有频率接近,达到优化设计目的.