介绍一种获得较精确的膜基反射镜挠度数值解的方法。通过非线性有限元分析，对三种有限元网格划分方法进行研究比较，建立符合实际情况的有限元模型，给出薄膜分析中施加预应力的方法，分析研究膜基反射镜的挠度特性。首先在简易边界条件下，验证有限元分析结果符合固定支撑圆板挠度弯曲问题的理论值；然后运用此方法分析复杂边界条件下膜基反射镜的表面位移情况，获得膜基反射镜面形特征数据。获得的挠度值相对误差小于0．04％，为深入研究膜基反射镜成型及面形控制做了准备。