磁致伸缩型微位移致动器通常采用多晶或孪晶结构材料作为驱动单元,由于晶界和孪晶界对畴壁的移动具有阻碍作用, 其低场下的位移输出较小,调控精度受到较大影响.采用Tb-Dy-Fe单晶材料可以有效解决这一问题,本文介绍了采用这一单晶材料设计的新型高精度微位移致动器以及致动器的结构和数控电源.