碧波液压网 欢迎你,游客。 登录 注册

大直径硅片表面平整度检测中的纳米形貌新概念

作者: 卢立延 刘伟 来源:世界有色金属 日期: 2023-10-28 人气:8
大直径硅片表面平整度检测中的纳米形貌新概念
文章对大直径表面平整度检测中的纳米形貌概念作了说明,对纳米形貌与平整度、微粗糙度及比较作了叙述,指出了纳米形貌的形成原因及影响。
    共1页/1条