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> 纳米形貌
大直径硅片表面平整度检测中的纳米形貌新概念
作者:
卢立延
刘伟
等
来源:
世界有色金属
日期: 2023-10-28
人气:8
文章对大直径表面平整度检测中的纳米形貌概念作了说明,对纳米形貌与平整度、微粗糙度及比较作了叙述,指出了纳米形貌的形成原因及影响。
关键词:
大直径硅片
平整度检测
纳米形貌
微粗糙度
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