目前，国内外功率超声应用技术中，不仅要求超声功率源具有宽的输出功率范围，而且对输出功率的稳定性，可预置性严格要求，为了适应超声雕刻工艺研究的需要，我们研究了一种输出功率从０～５００Ｗ任意可变，且有频率和输出功率双重跟踪的超声功率电源。工作的频率范围是１０～５０ｋＨｚ输出负载力压电式换能器。