润滑膜厚度的测量是开展纳米量级薄膜润滑状态研究的关键问题。利用光干涉法相对光强原理研制出一种纳米级润滑膜厚度测量仪，在低速低载荷条件下对点接触纯滑动润滑接触中心区润滑膜厚度进行测量，并讨论接触中心区和润滑膜厚度与速度和载荷之间的关系。结果表明：已测量的膜厚值已达到纳米量级，在设定工况下润滑膜厚度随速度增大而增大，随载荷增大而减小；比较Hamrock-Dowson公式计算结果和实验结论证明，这种仪器能有效实现对纳米级润滑薄膜厚度的测量。