本文主要介绍MEMS光开关4种静电驱动的不同结构,及其各自在光开关性能上的优势与不足,这对MEMS光开关的设计研究具有参考价值.

抓爬式致动器（SDA）是获得可控微位移微电机械当中的核心部件，考虑驱动器件在电场力作用下的耦合相互作用，在变形计算中为了保证计算易于收敛和用变形控制电压加载方式，采用增量型的有限元格式。同时，为考虑边缘效应和电场的非区域效应，在静电场计算中采用矩量法，并把数值模拟的结果与解析解进行了比较，结果显示文中的数值结果与解析解在吸入临界值的预测中存在较大的差异，文中的结果更接近实验值。