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高分辨率平面测试仪的研制

作者: 覃胜 刘晓明 查晓辉 来源:重庆大学学报(自然科学版) 日期: 2023-11-21 人气:6
高分辨率平面测试仪的研制
在实际应用中,平面测试仪主要用于工件的微米级测试,从而检验工件是否合格.高分辨率和高稳定度是平面测试仪研制的两大关键技术.采用分辨率扩展的方法可以提高分辨率;同时利用单片机和复杂可编程逻辑器件(CPLD)设计产生高稳定度的信号源,提高了系统的稳定度.内容包括工作原理,测试步骤和硬件设计,并介绍了提高精度的措施.主要由位移传感器,高稳定度信号源,单片机,信号处理单元四部分组成,具有高稳定度,高分辨率,低成本,操作简便的特点,目前已在重庆爱拓利检测仪表有限公司正式投入使用.
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