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超精密直线度测量技术

作者: 戴一帆 彭小强 王宪平 来源:航空精密制造技术 日期: 2023-11-02 人气:2
超精密直线度测量技术
介绍了一种结构简单 ,但性能稳定、精度高的电感传感器。并介绍了操作方便、置信度高、可用于短工件测量的直线度空间域的组合测量方法。利用它们进行超精密直线度测量 ,具有良好的效果。
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