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关键词文章列表
> A-quad-B脉冲
动态测量光栅测长仪的位置误差
作者:
刘春山
陈晓怀
程真英
来源:
工业计量
日期: 2023-06-12
人气:6
介绍了一种光栅测量系统动态位置精度评定的方法,以现有的光栅测长仪为研究对象,高精度HP5529A双频激光干涉仪作为校准系统.利用光栅测长仪编码器产生的A-quad-B脉冲信号触发激光干涉仪进行同步动态数据采集,由激光干涉仪软件来获取和显示位置误差数据,并绘制更真实详细的动态误差图.最后对动态误差实验结果进行分析和讨论.
关键词:
光栅
动态误差
A-quad-B脉冲
激光干涉
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