高精度倾斜仪是地壳形变观测仪器的重要组成部分，可广泛应用于固体潮汐的观测、大型陆基科学仪器（如激光干涉引力波天线）地面倾斜运动的测量以及地质灾害的监测与预警等方面。根据仪器基线的长度，高精度倾斜仪可以分为长基线倾斜仪和短基线倾斜仪两大类，介绍了目门的基本原理和优缺点。目前，出现了一些新型的高精度倾斜仪，阐述了这些新一代倾斜仪的工作原理、微位移传感器以及仪器灵敏度标定等方面的研究进展，分析了高精度倾斜仪的发展趋势。