为了改善电感测微仪测头的动态响应性能，找出测头的临界脱离频率，对影响测微仪测头临界脱离频率的因素进行了理论分析，并通过试验台对测头的刚度、质量及预压量等因素对其产生的影响进行了验证。试验结果表明：在对电感测微仪测头的设计中，合理增加刚度和预压量、减少活动部分的质量可以提高测头的动态响应性能。