用劳埃德镜干涉原理进行圆度误差测量
提出一种应用线阵CCD自动测量圆度误差的新方法。论述了系统利用劳埃德镜干涉装置,通过线阵CCD图像处理系统自动测量圆度误差的工作原理及过程设计。测量结果表明,新的测量方法实现了圆度误差的实时精确在线测量。该测量系统具有一定的实用价值及较广阔的应用前景。
基于劳埃德镜的微薄物体厚度测量
介绍一种利用劳埃德镜测量微薄物体厚度的新方法,该方法利用光的干涉原理,借助条纹间距的改变来测出物体的厚度。结果表明,该方法不仅操作简单,而且测量结果具有较高准确性,是一种可行的方法。
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