根据ＥＳＴ的基本原理，用被测深孔的内表面取代通常采用的导轨作为传感器的移动基准，通过对三点法测量结果的误差分析，得出了其测量结果不确定度的数学表达式，同时指出了该方案的可行性判据及其应用条件。该方法应简单，成本较低具有一定精度，能有效解决工程实际中深孔类零件母线直线度的测量难题。