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接触与非接触两用表面轮廓综合测量仪

作者: 汪洁 谢铁邦 来源:湖北工业大学学报 日期: 2023-11-04 人气:59
接触与非接触两用表面轮廓综合测量仪
介绍了一种新型两用表面轮廓综合测量仪的设计原理、仪器结构及测试结果. 该系统可采用接触式与非接触式两种测量方式,与单一测量模式的表面形貌测量仪器相比,它的性能价格比更高,应用范围更广. 该测量系统已投入实用,接触法测量范围达± 3mm,最小分辨率为0.005 μm;非接触法测量范围达±500 μm,最小分辨率为0.01 μm.
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