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> 聚焦探测法
接触与非接触两用表面轮廓综合测量仪
作者:
汪洁
谢铁邦
来源:
湖北工业大学学报
日期: 2023-11-04
人气:59
介绍了一种新型两用表面轮廓综合测量仪的设计原理、仪器结构及测试结果. 该系统可采用接触式与非接触式两种测量方式,与单一测量模式的表面形貌测量仪器相比,它的性能价格比更高,应用范围更广. 该测量系统已投入实用,接触法测量范围达± 3mm,最小分辨率为0.005 μm;非接触法测量范围达±500 μm,最小分辨率为0.01 μm.
关键词:
表面轮廓仪
聚焦探测法
激光干涉法
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