将微细铣削技术应用到了带三维微结构的惯性MEMS器件的加工中．该类惯性MEMS器件由高弹性合金制作，特征尺寸在10μm～200μm，加工精度要求在±1μm，而且对加工残余应力有较高要求．利用自行研制的三轴联动微小型精密铣床，在研究了微径铣刀的悬伸量、径向切深、每齿进给量等切削参数对切削力影响的基础上，提出了最佳切削参数，成功实现了该器件的加工，并采用微桥法对其弹性模量和残余应力进行了测量．