为提高激光直写控制系统的定位精度、定位时间和系统响应度，设计了一种数字伺服滤波器。该滤波器以伺服系统的三环PID控制原理为基础，并在设计中加入了具有实际问题性的前馈补偿模块：建立了以TMS3202812处理器组成的数字伺服滤波器模型；并对该模型进行了模拟仿真分析，然后移植到处理器中；最后通过验证，提高了位置定位和速度稳定精度。实验结果表明，整个系统输入与输出时差小于100k；无噪音无振荡，效果很好；定住精度误差控制±1μm范围内。