压电陶瓷驱动器在较高电场的作用下将产生严重的非线性，从而影响其定位精度。压电陶瓷驱动器的非线性不仅与材料的非线性、蠕变、滞后等因素有关，还与器件的动态响应特性有关。动态响应的迟滞非线性是影响压电式微位移驱动器控制性能的一个关键因素，直接关系到控制精度的提高。该文采用前馈控制同数字比例、积分和微分环节（PID）控制相结合的复合控制算法对一维压电式微位移机构的控制过程进行校正补偿，建立了动态特性的闭环校正控制系统。实测结果表明，机构的动态响应时间显著缩短，实现了机构的快速响应。

研究、设计了一种以柔性铰链为导向元件、压电陶瓷为驱动器的微定位机构,给出了机构的动力学模型.结合检测装置和微机控制系统,设计并研制了基于前馈控制同数字PID反馈控制相结合的复合控制的微定位系统.实验表明,微定位系统定位行程可达100μm,定位分辨力0.01μm.

设计了一种集磁悬浮技术和线性驱动技术为一体的精密磁悬浮进给机构.这种机构采用直线同步电动机对悬浮平台进给机构提供驱动力,实现了进给机构在水平和垂直两方向的无接触支撑和导向,具有响应快速、刚度高以及定位精确的特点,能够满足微电子设备高精度、高效率和超洁净加工的需要.文章还对磁悬浮力和直线电动机推力进行了分析计算.

设计了一种高精度、外围元件较少的热电致冷温度控制电路。介绍了激光器温度控制电路的系统组成及工作原理，重点论述了采用基于TPS63000的热电致冷控制电路，通过MCU的数字PID控制算法对EML激光器温度进行精确调节的过程。实验结果表明，该电路完全符合EML激光器对温度稳定性的要求。