针对超磁致精密驱动器（GMA）工作时因电磁线圈发热而导致GMA定位精度差的问题，采用体积小、噪声低、无电磁干扰的压电微泵驱动水流进行散热，以控制超磁致伸棒的温度．制作了一台GMA样机，设计了一个热变形测试系统，进行了GMA在无水冷和有水冷条件下的热变形对比实验．结果表明，提出的温控措施是有效的．