在介绍物体在紫外线照射下辐射荧光的物理现象及其在某些方面的重要应用的基础上，对其实现接收、记录这种荧光信息的可行性进行了研究，给出一种可行的光，学系统结构型式，并对其质量和应用效果进行了简要分析。

系统用自聚焦透镜代替共焦扫描显微镜中的聚焦透镜,将自聚焦透镜体积小的特点与共焦显微技术的轴向高分辨力和绝对位置跟踪特性有机结合,具有测头微小型化,高的轴向分辨力、较大倾斜表面的瞄准能力、对突跳位置的绝对跟踪能力等特点.选用PZT作为轴向扫描驱动元件(线性范围±5 μm,每个脉冲2 nm进给),用高精度电容位移传感器作为位置跟踪元件(线性范围±5 μm,分辨力1 nm).对20°角度块进行测试实验表明,在测头直径为1 mm的情况下,系统对20°倾斜度以内的斜面轮廓的探测轴向分辨力可达10 nm.

为了验证空气隙的厚度是否对偏光棱镜的透射比产生影响，对格兰-泰勒棱镜和格兰-付科棱镜的透射比进行了详细的理论分析，并利用UV-3101分光光度计分别对两只格兰-泰勒棱镜和两只格兰-付科棱镜的透射比进行了实验测试，发现格兰-泰勒棱镜的透射比（85％左右）明显高于格兰-付科棱镜（50％左右）。理论分析表明，对于严格的准直光束，两种棱镜的透射比均随波长的变化而振荡，且这种振荡对格兰-付科棱镜强于格兰-泰勒棱镜；但在分光光度计上的测试并未出现振荡，这说明对于非严格准直的光束，空气隙的厚度并不影响棱镜的透射比。

为了更好地设计和选择使用分束李普奇棱镜和分束格兰-汤普逊棱镜，从理论上分析了分束李普奇棱镜与分束格兰-汤普逊棱镜的分束角、分离角和光强分束比。结果表明，分束李普奇棱镜和分束格兰-汤普逊棱镜的分束角和光强分束比与棱镜的结构角和副结构角有关；对于相同的结构角和副结构角，两种棱镜的分束角相同，但它们的光强分束比不同。出射的o光与e’光的分离角与副结构角有关；对于o光垂直出射的需要，选用分束李普奇棱镜设计为好；对于大分束角的需要，选用分束格兰-汤普逊棱镜设计为好。选用最佳设计方案可以分别实现两种棱镜光强的对称分束，实验结果与理论计算相符。