对宏微进给系统的位置误差进行了检测和误差补偿。设计了基于压电型微驱动器的宏微双驱动精密定位系统,宏动台由伺服电机直接驱动,微动台由压电陶瓷驱动器和弹性铰构成,并由压电陶瓷驱动器驱动。微动台被安装在宏动台上,微动台和宏动台是串联的关系。宏动台只用于实现大行程微米级定位,而纳米级定位交由微动台实现。利用激光干涉仪对宏微进给沿导轨做直线运动时的定位误差和重复定位误差进行了检测,并参照数控轴线的定位精度和重复定位精度的定义对测量的误差数据进行了分析和处理。采用PMAC的丝杠补偿和间隙补偿功能对单、双向定位误差重复定位误差进行了补偿,并将补偿前后的检测结果进行了对比,轴线的定位误差和重复定位误差都显著减小,表明所采用的补偿策略是可行有效的。