1引言 扫描探针显微镜(SPM)由于具有纳米甚至原子量级的分辨率,20多年来已引起各个领域科学家们的广泛兴趣.在精密工程领域,它作为一种极具前途的纳米计量工具,已在许多国家受到了广泛的重视,如美国NIST,德国PTB和英国NPL等都相继开展了基于SPM的纳米计量技术研究.但作为纳米级的计量分析仪器,不仅要有高分辨率,更要有纳米级甚至更高的精度.因此需要计量工作者对SPM在纳米计量应用的各个方面有比较全面和深入的了解.本文在SPM图像重建、漂移的在线补偿、纳米定位和三维表面粗糙度测量等方面进行了讨论.

提出原子力显微镜（AFM）的新设计，讨论卧式AFM的工作原理及其性能特点，简要介绍AFM的控制电路系统及其图像扫描和图像处理软件系统，给出AFM扫描获得的部分样品的图像结果。