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红外焦平面阵列非均匀性实时校正研究

作者: 代少升 来源:半导体光电 日期: 2023-08-04 人气:10
红外焦平面阵列非均匀性实时校正研究
针对红外焦平面阵列非均匀性多点校正过程中涉及的数据量大,难于实现实时校正的特点,提出了利用TMS320DM642DSP硬件对红外焦平面阵列进行多点实时校正。利用DSP的硬件乘法器和加法器能够高速有效地实现红外焦平面阵列的非均匀性校正。实验结果表明利用DSP实现红外焦平面阵列实时非均匀性校正方法简单灵活,图像效果理想,能够很好地满足红外焦平面阵列成像系统实时性能的要求。

用于红外焦平面的正方形孔径球面微透镜阵列研究

作者: 孙艳军 冷雁冰 陈哲 董连和 来源:光子学报 日期: 2023-07-09 人气:10
用于红外焦平面的正方形孔径球面微透镜阵列研究
针对目前红外焦平面光敏阵列中存在的占空比小、光能利用率低的实际问题,展开了正方形孔径球面微透镜阵列制作及其与红外焦平面阵列集成应用的研究.本文从红外焦平面光敏阵列特点入手,对比分析了正方形孔径相比于传统圆形孔径微透镜阵列在光能利用上的优势.提出正方形孔径微透镜阵列激光直写变剂量曝光制作技术,建立光刻胶曝光数学模型和正方形球面微透镜面型函数,以此为基础,编制直写设备变剂量曝光控制软件;利用长春理工大的学复合坐标激光直写系统和等离子刻蚀机进行相关工艺实验,制作了阵列256×256、单元尺寸40×40 μm2、球面半径60 μm、单元间距1μm的红外石英微透镜阵列;并将其与相应阵列的碲-镉-汞红外光敏阵列进行集成.结果表明:微透镜的占空比达到95%,红外焦平面光能利用率从原来的60%提高到90%以上.由此得出结论:变剂量
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